Машина для нанесения покрытий методом катодного распыления с магнетроном VTC-600-2HD DC/RF

для металлизации

VTC-600-2HD - это система магнетронного распыления с двумя источниками мишеней: 1) источник постоянного тока для нанесения металлических покрытий на одну головку и 2) источник радиочастотного излучения для нанесения неметаллических покрытий на другую головку. Система оснащена устройством контроля толщины пленки, позволяющим пользователю легко отслеживать процесс нанесения покрытия и регистрировать данные. Данная модель имеет сложную конструкцию и предназначена для нанесения одного или нескольких слоев пленки на широкий спектр материалов подложки (ферроэлектрические, кондуктивные, сплавы, полупроводниковые, керамические, диэлектрические, оптические, оксидные, твердые, PTFE и т.д.). Компактность и простота управления делают эту систему идеальной для использования в научно-исследовательских лабораториях. Входная мощность - 220 В переменного тока 50/60 Гц, однофазный - 2000 Вт (включая насос) Мощность источника - Два источника мощности напыления интегрированы в один блок управления - Источник постоянного тока: 500 Вт для нанесения покрытий на металлические материалы - ВЧ-источник: 600 Вт с автоматическим согласованием для нанесения покрытий на неметаллические материалы - Компактный ВЧ-источник 300 поставляется за дополнительную плату Головка для магнетронного напыления - В комплект поставки входят две 2-дюймовые головки для магнетронного распыления с водяными рубашками охлаждения (нажмите на картинку слева, чтобы увидеть подробные характеристики) - Одна подключается к радиочастотному источнику питания для работы с непроводящими материалами - Другая подключается к источнику постоянного тока для напыления металлических материалов - Требования к размеру мишени: диаметр 2" - 1/16" макс. толщина для металлических мишеней - Максимальная толщина 1/4" для непроводящих мишеней - Для демонстрационных испытаний в комплект поставки входят одна мишень из нержавеющей стали и одна керамическая мишень из Al2O3