Измерительный инструмент концентрации CS-900F

с полупроводникомбесконтактныйдля оптоволокна

Обзор продукта
Бесконтактное стабильное измерение концентрации химических растворов для полупроводниковых процессов. CS-900F использует бесконтактный оптоволоконный модуль ячейки, устанавливаемый на трубопроводе, что минимизирует риск утечек и загрязнений. Поддерживает расширенный спектр жидкостных технологических химикатов и позволяет производить прямые измерения высокотемпературных растворов до 80 °C без предварительной обработки, повышая стабильность и универсальность в качестве флагманской модели серии CS.

Ключевые особенности

• Компактная конструкция со стабильной измерительной производительностью: оптоволоконные кабели сокращают объем установленного внутри оборудования модуля ячейки примерно на 60% по сравнению с предыдущими моделями, снижая чувствительность к внешним помехам.
• Расширенная совместимость с химикатами: диапазон длин волн увеличен примерно в 3 раза по сравнению с предыдущими моделями, что позволяет измерять более широкий спектр технологических химикатов; прямая измерение до 80 °C обеспечивает более безопасную эксплуатацию.
• Безопасность и оптимизация процесса: модуль ячейки монтируется на трубопроводе для бесконтактного измерения, снижая риски утечек и загрязнения и помогая минимизировать расход химикатов.
• Интерфейсы и функции: питание 24 V DC, передающий выход, контактный выход, связь RS-232C; поддержка многокомпонентных измерений и температурно-компенсированного многовариантного анализа.

Технические характеристики
Наименование: Бесконтактный монитор концентрации химикатов оптоволоконного типа
Модель: CS-900F
Принцип измерения: Абсорбционная спектроскопия
Метод расчета: Многовариантный анализ с температурной компенсацией

Диапазон измерения и повторяемость (мас.% )

• Модель: CS-900F-1-1-1P-1P25P5-AA
  Компонент: NH3 — Диапазон: 0.00 до 1.20 — Повторяемость: ±0.05 — Диапазон аналогового выхода: 0.00 до 10.00
  Компонент: H2O2 — Диапазон: 0.00 до 5.50 — Повторяемость: ±0.10 — Диапазон аналогового выхода: 0.00 до 10.00
  Компонент: H2O — Диапазон: 93.3 до 100.0 — Повторяемость: ±1.0 — Диапазон аналогового выхода: —
• Модель: CS-900F-1-1-1P-P8P8-11
  Компонент: NH3 — Диапазон: 0.00 до 0.80 — Повторяемость: ±0.03 — Диапазон аналогового выхода: 0.00 до 1.00
  Компонент: H2O2 — Диапазон: 0.00 до 0.80 — Повторяемость: ±0.03 — Диапазон аналогового выхода: 0.00 до 1.00
  Компонент: H2O — Диапазон: 98.4 до 100.0 — Повторяемость: ±0.2 — Диапазон аналогового выхода: —

Условия измерения
Интервал измерения: прибл. 5 с
Скользящее среднее: 16 значений

Трубопровод и установка
Труба PFA: 1 inch или 3/4 inch (избегать черной антистатической части). Поверхность трубы должна быть без царапин, вмятин и помутнений. Установите модуль ячейки на трубопровод; угол установки основной единицы должен быть в пределах ±1°.

Условия образца
Температура образца: 20 до 80 °C
Колебания температуры воздуха/образца: ±1 °C в течение 1 часа
Давление образца: ниже 0.4 MPa (G); колебания давления в пределах 0.02 MPa. Избегайте воздушных пузырей в потоке образца; если давление при измерении отличается от давления, используемого для коррекции фона, выполните нулевую коррекцию.

Питание и физические данные
Источник питания: 24 V DC
Потребляемая мощность: прибл. 40 W (исключая пусковой бросок тока)
Масса: основное устройство прибл. 5.8 kg; модуль ячейки прибл. 1.4 kg
Габариты: основное устройство 217 (W) × 290 (D) × 173 (H) мм (без выступов); модуль ячейки 186 (W) × 142 (D) × 83 (H) мм (без выступов)
Ожидаемый срок службы источника света: 5 лет
Оптоволоконный кабель: стандартная длина 5 м; радиус изгиба R150 мм