Химическая система наблюдения CS-1000

концентрациидля измерений

CS-1000 улучшает процессы производства полупроводников, позволяя одновременно измерять три параметра в химическом растворе с низкой концентрацией компонентов. Компания HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. (далее "HORIBA Advanced Techno") выпустила новую систему мониторинга химических растворов CS-1000. Анализаторы серии CS, измеряющие концентрацию химических веществ, используемых в процессах производства полупроводников, в режиме реального времени, служат потребностям отрасли уже почти 30 лет с момента их выпуска в 1995 году. CS-1000, автономная система с улучшенными характеристиками, позволяет определять специфические химические вещества, присутствующие в химических растворах в следовых количествах (уровень ppm*1) без предварительной обработки, благодаря уникальному алгоритму (патент заявлен*2), сочетающему анализ абсорбции,*3 электропроводности и pH. Обеспечивая одновременное измерение трех параметров - концентрации (до восьми химических компонентов), электропроводности и pH - при цикле обновления всего шесть секунд,*4 CS-1000 способствует улучшению контроля качества. Поскольку для обслуживания CS-1000 требуется всего около четырех часов*5 каждые шесть месяцев, он также помогает сократить время простоя. Кроме того, CS-1000 поддерживает одновременное измерение двух различных химических растворов, что способствует повышению производительности. С миниатюризацией полупроводников химические растворы, используемые для их производства, становятся все более разнообразными, например, содержащими множество компонентов или следовых компонентов. Это требует строгого контроля качества, охватывающего множество параметров