Система контроля с тонким слоем Xtrology

с полупроводникомавтоматизированнаятолщина

Новый продукт, полностью автоматизированная система контроля тонких пленок "Xtrology "*1, позволил проводить такие важные проверки, как измерение толщины пленки, анализ дефектов и состава различных пластин с помощью одного прибора. В последние годы в связи с технологическим прогрессом в полупроводниковой промышленности увеличилось количество пунктов контроля в производственном процессе, и уровень требований к проверкам продолжает расти. Компания Xtrology проводит инспекцию и проверку дефектов на пластинах различных размеров и материалов, используемых в старых и современных процессах производства кремниевых и составных полупроводниковых приборов. Мы предлагаем разнообразные решения, объединяя в единую платформу различные датчики и технологии автоматизации, разработанные независимо друг от друга на основе базовой технологии HORIBA. 1. Индивидуальная разработка датчиков и спецификаций для инспекционных нужд клиентов "Xtrology" - это высоконастраиваемая система, позволяющая выбрать один или несколько датчиков из трех методов анализа: спектроскопической эллипсометрии*2, спектроскопии комбинационного рассеяния*3 и фотолюминесценции*4. Это позволило проводить важные проверки различных пластин с помощью одного прибора. Толщина пленки - измерение толщины и качества пленки, анализ одного или нескольких слоев Оптические свойства - измерение n (коэффициент преломления света), k (коэффициент экстинкции*5) и Eg (полоса пропускания*6) Кристалличность - оценка однородности кристаллической структуры материала и т.д. Состав / стехиометрия - анализ ингредиентов и содержания материала, а также оценка однородности Контроль дефектов - определение местоположения дефектов, их классификация, проверка и идентификация частиц