Идеально подходит для контроля концентрации шлама
Эффективно поддерживать постоянное разбавление шлама. Поддержание соответствующего значения электропроводности способствует стабильности процесса полировки вафель. Даже высоковязкие жидкости для образцов, такие как CMP Slurry, могут быть измерены без проблем, поскольку в датчике используется конструкция, которая снижает риск прилипания жидкости для образцов к электродам. Кроме того, датчик изготовлен из смачиваемого материала с превосходной химической стойкостью, что отвечает требованиям чистоты полупроводниковых процессов. Помимо вышеперечисленного, он также может быть использован для внедрения на стадии разработки полупроводникового процесса и контроля проводимости специальных химических веществ.
Высокая точность / Высокая стабильность
Диапазон измерений: от 0 до 2 000 мкСм/см, от 0 до 10 000 мкСм/см
Повторяемость: ± 0,5% F/S, ± 1,0% F/S
Отсутствие загрязнения металлом
Поскольку в качестве материала электрода используется специальный углерод, нет необходимости беспокоиться об элюировании металлических загрязнений.
Оснащен функцией преобразования концентрации
Два типа преобразования концентрации возможны путем ввода зависимости между концентрацией химического вещества и проводимостью, а также температурных характеристик.
Это особенно подходит для контроля разбавления химикатов с низкой концентрацией.
Экономия места
Степень свободы при монтаже увеличивается за счет уменьшения размеров по сравнению с обычным датчиком проводимости.
---