Пульверизатор жидкость LE

с высокой пропускной способностьюбольшой расход

Высокоэффективный испаритель жидкости с проточными каналами и нагревательными элементами, встроенными в литой алюминиевый блок, что обеспечивает максимальную теплопередачу и исключает образование холодных зон и риск образования конденсата. Эта система контроля испарения жидких источников может работать при температуре до 300 °C и испарять до 30 г/мин IPA (или эквивалента). Характеристики Инновационная конструкция максимизирует скорость испарения Новое сопло инжектора обеспечивает постоянное впрыскивание жидкости, что способствует стабильной концентрации пара на выходе Полностью изготовленный из нержавеющей стали проточный тракт обеспечивает максимальную коррозионную стойкость и минимальное образование твердых частиц Совместим со многими типами прекурсоров. Применяемая жидкость - H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Пожалуйста, свяжитесь с HORIBA, если вам требуется испарение любых жидких материалов, не указанных здесь. Максимальный объем испарения (скорость потока газа) - H2O : 10 г/мин (12,4 SLM) IPA： 30 г/мин (11,1 SLM) TEOS: 50г/мин（5.3 SLM） SiCl4： 130г/мин（17.1 SLM）