Термально-массовый регулятор расхода LV-F series
для жидкостейцифровой

термально-массовый регулятор расхода
термально-массовый регулятор расхода
термально-массовый регулятор расхода
термально-массовый регулятор расхода
термально-массовый регулятор расхода
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Технология
термально-массовый
Жидкость
для жидкостей
Другие характеристики
цифровой
Расход

МИН.: 0 us gal/min (0 l/min)

МАКС.: 100 us gal/min (379 l/min)

Давление

МИН.: 50 000 Pa (7 psi)

МАКС.: 300 000 Pa (44 psi)

Описание

Когда полупроводниковые устройства становятся быстрее, уровень их интеграции также повышается. В связи с этим при изготовлении приборов требуется более высокая детализация. Для соответствия этим критериям процесс производства 300 мм пластин внедряется с использованием новых материалов для повышения эффективности производства. Новая тенденция привела к появлению нескольких разновидностей источников жидкости и расхода, которые будут использоваться в процессе производства полупроводников В цифровой серии регуляторов расхода для охлаждения жидкости используется элемент Пельтье, а не более распространенный тепловой нагревательный элемент. Это исключает кипение химических веществ с низкой температурой кипения, что способствует усилению химического контроля. Компания HORIBASTEC является мировым лидером в этой области и предлагает полный спектр систем контроля испарения жидкого источника с помощью различных методик, включая выпечку, прямое впрыскивание и смешивание, чтобы гарантировать эффективную и стабильную подачу пара к месту использования.

---

Каталоги

LV-F series
LV-F series
1 Страницы
Vaporizers
Vaporizers
8 Страницы
LF-F series
LF-F series
1 Страницы

Другие изделия HORIBA STEC

Fluid Control

* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.