Самая продаваемая система выпечки HORIBA была разработана с учетом требований современных высокотехнологичных отраслей промышленности. Не требуя газа-носителя, система может обеспечить стабильное испарение таких материалов, как TEOS (при скорости 600 SCCM) и H2O (при скорости 2 SLM). Для удобства доступа все обслуживание устройства может осуществляться с передней части прибора.
Характеристики
Газификация с высокой скоростью потока
LSC-A100 обеспечивает стабильную газификацию таких материалов, как TEOS 600SCCM и H2O 2SLM
Все техническое обслуживание устройства может быть выполнено с передней панели устройства
Дополнительный КПК типа PocketPC может использоваться для мониторинга рабочих условий LSC, а также для записи и анализа журналов работы.
---