Термический испаритель LSC

для процессадля жидкостей

Самая продаваемая система выпечки HORIBA была разработана с учетом требований современных высокотехнологичных отраслей промышленности. Не требуя газа-носителя, система может обеспечить стабильное испарение таких материалов, как TEOS (со скоростью 600 SCCM) и H2O (со скоростью 2 SLM). Для удобства доступа все работы по обслуживанию устройства можно выполнять с передней панели. Характеристики Газификация с высокой скоростью потока LSC-A100 обеспечивает стабильную газификацию таких материалов, как TEOS 600SCCM и H2O 2SLM Все работы по обслуживанию устройства можно выполнять с передней панели прибора Дополнительный КПК типа PocketPC может использоваться для мониторинга условий работы LSC, а также для записи и анализа журналов работы. Генерируемый расход - H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (макс.) Рабочее давление - Макс. 1.33 кПа Объем исходного резервуара 2.7L Метод регулирования тепла - ПИД-регулирование с помощью регулятора тепла Метод обнаружения поверхности жидкости - Плавающий переключатель Внутренний контроллер массового расхода Клапан давления воздуха Сильфонный тип Материалы в области жидкостного соединения и контакта с газом - SUS316L, PFA Рабочая температура - 20 - 35°C Внешний вход - Открытие/закрытие клапана воздушного давления, сигнал настройки расхода контроллера массового расхода (от 0 до 5 В постоянного тока/0 до 100% F.S.), сигнал аварийного останова, сигнал автоматического обнуления (опция) Внешний выход Сигнализация температуры, сигнализация уровня жидкости H.H., сигнал уровня жидкости (H, M, L), сигнал READY, выходной сигнал массового расхода регулятора расхода (от 0 до 5 В DC/0 до 100% F.S.), сигнализация остановки внутреннего вентилятора термостатируемой ванны, контроль напряжения клапана (опция) Источник питания Переменный ток 100 В, однофазный 50/60 Гц, 1,5 кВА Другое