Серия VC способна быстро испарять чистую воду или другие жидкие источники без газа-носителя, что позволяет создавать более компактные системы испарения.
Компания HORIBA может предоставить вам систему испарения, изготовленную по индивидуальному заказу и состоящую из этой серии VC и всех других необходимых компонентов:
Жидкостный массовый расходомер для измерения расхода,
Высокотемпературный контроллер массового расхода для измерения расхода паров,
Клапаны, фильтры, нагреватели и т.д.
Характеристики
Компактный размер
Возможность установки в различных положениях
Самые продаваемые модели систем испарения ТЭОС
Комбинируется с SEF или LF, возможно цифровое управление
Нет необходимости в специальном резервуаре для барботирования или испарения
Линейка моделей DeviceNetTM
Соответствие RoHS.
Генерируемый расход*1 (во время генерации ТЭОС)
-
Макс. 5.0 Преобразование ККМ (преобразование жидкой фазы)
Поддерживаемые жидкости
-
ТЕОС, P(OCH3)3, C6F6
Повышение температуры
-
Макс. 150°C
Создаваемое давление*1
-
Сниженное давление
Наружная герметичность
-
1.0x10-8Pa-m3/s
Целостность внутренней утечки
-
1.0x10-6Pa-m3/s
Смачиваемый мателиар
-
нержавеющая сталь 316L (полированная поверхность)
Внутренний объем нагревателя
-
AC 100V - 120V 70W(35Wx2)
Используемый датчик температуры
-
Термопара типа K (CA)
Сопротивление давлению
-
1.0MPa(G)
Стандартный фитинг
Впуск жидкости: 1/8 дюйма VCR тип наружный Выход газа: 1/4 дюйма VCR тип внутренний
*1 Варьируется в зависимости от типа жидкости.
-
*CCM - символ, обозначающий скорость потока газа (мл/мин при 25°C, 101,3 кПа).
---