Система контроля стеклянных пластин для контроля загрязнения при производстве ЖК-панелей и органических ЭЛ-панелей малого и среднего размера.
Собственная технология Hitachi позволяет раздельно определять переднюю и заднюю поверхности для тонких стеклянных пластин.
Высокая надежность обеспечивает высокую чувствительность обнаружения, высокоскоростной контроль и наблюдение загрязнений с большим увеличением. Идеально подходит для контроля загрязнений в процессах производства панелей.
- Поддерживает листовое стекло
Толщина стекла: 0,3 мм - 0,7 мм; максимальный размер стеклянного листа: 1300 мм × 1500 мм
- Точное раздельное обнаружение передней и задней поверхности
Коэффициент разделения передней и задней поверхности: 150 (передняя поверхность: φ0,3 мкм; задняя поверхность: φ50,0 мкм; толщина голого стекла: 0,7 мм)
- Высокая чувствительность обнаружения
Поверхностные загрязнения φ0,3 мкм
- Высокоскоростная инспекция
1300 мм × 1500 мм за 90 секунд (2-головочная оптическая система, высокоскоростной режим φ1,0 мкм)
- Загрязнения можно увидеть на мониторе при большом увеличении
---