Высокоскоростная система бесконтактного экспонирования для серийного производства подложек для цветных фильтров.
Система обеспечивает высокую производительность и надежность.
- Высокая пропускная способность
18 с./пластина (кроме времени экспонирования)
- Автоматическое выравнивание и контроль бесконтактного зазора
- Бесконтактное предварительное выравнивание
- Размер подложки
Макс.400мм х 500мм
- Применяется для поточной установки
---