Массовый спектрометр EQP series

четырехполюсныйдля анализа

Системы для исследования плазмы Высокопроизводительные комбинированные масс- и энергоквадрупольные масс-спектрометры для определения характеристик плазмы. EQP-6 с диапазоном масс 300 или 510 amu и квадрупольным масс-спектрометром с тройным фильтром 6 мм для широкого спектра исследований плазмы. EQP-9 9 мм квадрупольный масс-спектрометр с тройным фильтром, обладающий самым широким диапазоном масс. Опции от 50 до 5000 amu для высокостабильных измерений и анализа ионных кластеров. EQP-20 с 20-мм квадруполем с тройным фильтром компании Hiden с зоной I/зоной H, переключаемой на 20 amu с шириной пика 0,003 amu, и диапазоном масс 200 amu с разрешением единицы массы для определения характеристик плазмы изотопов водорода. Анализ ионов и радикалов Исследования травления/осаждения Ионная имплантация Лазерная абляция Анализ остаточных газов Обнаружение утечек Соединение плазменных электродов CVD / MOCVD / ALD Плазменные зонды Hiden измеряют некоторые из ключевых параметров плазмы и предоставляют подробную информацию, относящуюся к химии плазменных реакций. Детальное понимание кинетики реакции плазменных ионов и нейтральных видов играет ключевую роль в развитии передовых процессов инженерии поверхности, таких как HIPIMS. Встроенный источник ионов электронной бомбардировки обеспечивает анализ нейтральных веществ и, с добавлением режима масс-спектрометрии с электронной приставкой (EAMS), разделение и идентификацию электроотрицательных радикальных видов. Во все приборы серии EQP включен анализатор энергии положительных и отрицательных ионов до 1000 эВ с высокой пропускной способностью и сектором поля 45°.