Массовый спектрометр HMT

четырехполюсныйдля контроля процесса

Двухрежимная система RGA для вакуумной диагностики и мониторинга процесса Квадрупольный масс-спектрометр Hiden HMT представляет собой уникальную двухрежимную систему RGA, способную работать при давлении до 5×10-3 мбар без необходимости дифференциальной откачки. Работа при таком давлении достигается с помощью специально разработанной комбинации источника ионов/квадрупольного фильтра и программного обеспечения, корректирующего нелинейность избытка. Уникальные характеристики высокого давления делают HMT идеальным для мониторинга технологических процессов. Анализ остаточных газов Вакуумная обработка XPS вблизи атмосферы, APXPS Тонкопленочное оптическое покрытие CVD / MOCVD / ALD Система HMT предназначена для анализа вакуумных процессов и анализа остаточных газов, и является жизненно важной для проверки состояния процесса, а также для анализа в ходе процесса для обнаружения неожиданных загрязнений. Система HMT может также работать в режиме RGA так же, как и традиционный квадрупольный RGA. Двойные детекторы Фарадея / электронные умножители обеспечивают чувствительность к парциальному давлению в диапазоне 10-13 мбар. Типичные процессы, которые можно контролировать, включают CVD, травление, PECVD и PVD. Инструмент RGA для поиска и устранения неисправностей и мониторинга процесса. Режим HMT для работы при высоком давлении до 5×10-3 мбар (минимальное обнаруживаемое парциальное давление 5×10-8 мбар) Режим RGA для работы с высокой чувствительностью при P < 10-4 мбар (минимальное обнаруживаемое парциальное давление 2 x 10-11 мбар) Диапазон масс 100 amu, удаленный (ПК) Интерфейс управления через программное обеспечение MASsoft Professional для ПК Диапазон масс 100 amu, удаленный (ПК) интерфейс управления через программное обеспечение MASsoft Professional для ПК Стабильность (менее ±1% колебаний высоты в течение 24 ч) Управление с помощью программного обеспечения MASsoft через RS232, USB или несколько систем через Ethernet LAN