Массовый спектрометр HPR-30 series

для анализа газамобильный

Системы анализа остаточных газов для анализа вакуумных процессов Серия HPR-30 - это системы анализа остаточных газов, предназначенные для анализа газов и паров в вакуумных процессах и для вакуумной диагностики с возможностью отбора проб от высокого вакуума до атмосферного давления. Системы полностью конфигурируются для индивидуальных технологических приложений, таких как CVD, ALD, плазменное травление, MOCVD, мониторинг чистоты технологических газов и загрязняющих веществ в процессе. Определение характеристик плазмы Сублимационная сушка CVD / MOCVD / ALD Вакуумная обработка Анализ остаточных газов XPS вблизи атмосферы, APXPS Тонкопленочное оптическое покрытие Системы серии HPR-30 предназначены для высокочувствительного анализа газов и паров в вакуумных процессах. Приложения включают обнаружение утечек, мониторинг загрязнений, анализ тенденций процесса и анализ высокомассовых видов и прекурсоров, используемых, например, в процессах ALD и MOCVD. Предлагаются следующие конфигурации пробоотборников: Тележка HPR-30 с входом для отбора проб с двойной проводимостью имеет близко расположенную ре-центробежную диафрагму для отбора проб непосредственно в области процесса, обеспечивая максимальную целостность данных и быстрое подтверждение состояния процесса. Тележка HPR-30 с несколькими гибкими входами длиной 1 м и трехклапанным коллекторным соединением с автоматическим переключением для анализа в широком диапазоне давления процесса. HPR-30 SGL с одной обогреваемой линией отбора проб для тех случаев, когда пространство для подключения пробоотборника ограничено, а для анализа менее летучих продуктов реакции требуется решение с полностью обогреваемым входом. В качестве системной опции предлагается сбор данных с временным разрешением, подходящий для мониторинга процесса импульсного осаждения.