Это оборудование повышает эффективность путем нанесения тонкой пленки Al2O3 на переднюю поверхность пластины кристаллического солнечного элемента методом термического атомно-слоевого осаждения (ALD) для формирования пассивирующего слоя.
Спецификация
Высокая производительность: 12 800 пластин/час (1 600 пластин/лодка)
Время цикла: 30 мин
Время безотказной работы: 97%
---