Эта установка предназначена для повышения эффективности ячеек путем нанесения пассивирующего слоя на лицевую сторону кремниевой пластины после изоляции кромок и удаления PSG.
Спецификация
Высокая производительность: 14 400 пластин/час (2 400 пластин/лодка)
Время цикла: 60 минут
Время безотказной работы: 99%
---