Эта система используется для осаждения оксидов и полимеров in situ для ячейки TOPCon, что позволяет селективно захватывать электроны, улучшая скорость их рекомбинации.
Spec
Высокая производительность: 4 702 пластины в час (640 пластин/лодка)
Время цикла: 49 мин
Время безотказной работы: 97%
---