Варочная установка EVG®105

Автономный модуль выпечки EVG®105 предназначен для выпечки в мягкой или постэкспозиционной выпечке. На модуле EVG105 можно выполнять процессы мягкой выпечки, постэкспозиционной выпечки и жесткой выпечки. Контролируемая среда выпечки обеспечивает равномерное испарение. Программируемые бесконтактные контакты обеспечивают наилучший доступный контроль процессов закалки резиста и температурных профилей. Модуль выпечки EVG105 может обрабатывать до 300 мм пластин или до четырех 100 мм пластин одновременно. Особенности Автономный модуль выпечки До 300 мм пластин или до четырех 100 мм пластин одновременно Равномерность температуры ≤ ± 1 °C @ 100 °C, температура выпечки до 250 °C Погрузочные штифты для ручной и безопасной загрузки/разгрузки пластин Таймер для выпечки Вакуум субстрата (выпечка с прямым контактом) N2 продувка и бесконтактная выпечка 0-1 мм расстояние между пластиной и нагревательной пластиной (опционально) Неправильная форма подложек Технические данные Диаметр пластин (размер подложки) До 300 мм Горячая плита Диапазон температур: ≤ 250 °C Ручная регулировка подъемных штифтов в соответствии с желаемым расстоянием между ними