Линия обработки для сельского хозяйства и пищевой промышленности EVG®120

для полупроводниковой пластины

EVG®120 представляет собой компактную, экономичную систему обработки резины для запуска производства в условиях ограниченного пространства в чистых помещениях. Новый универсальный и полностью автоматизированный инструмент для обработки резины EVG120 способен обрабатывать различные формы и размеры подложек вплоть до 200 мм/8". Новое поколение EVG120 выпускается в новой сверхкомпактной конструкции с новым химическим шкафом для внешнего хранения химикатов, обладающим повышенной пропускной способностью, оптимизированным для крупносерийных нужд клиентов и готовым к использованию в крупносерийном производстве (HVM). Модель EVG120 предоставляет пользователям целый ряд преимуществ, которые просто не встречаются ни в одном другом инструменте, и гарантирует высочайшие стандарты качества в различных областях применения при исключительно низкой стоимости владения. Особенности Размеры пластин до 200 мм Ультракомпактный дизайн для минимальной площади основания До 2 камер для нанесения/разработки слоя и 10 горячих/охлаждающих плит Многофункциональные комбинации многофункциональных модулей для прядения и распыления покрытий, разработки, выпечки и охлаждения обеспечивают широкие возможности во многих областях применения Химический шкаф для внешнего хранения химикатов Собственная технология ультразвукового распыления EV Group OmniSpray® обеспечивает непревзойденные результаты процесса нанесения конформного покрытия на экстремальные рельефы Вращающаяся крышка CoverSpinTM для низкого потребления резиста и оптимизированной однородности покрытия резиста Мегасонические технологии очистки, сонохимической обработки и разработки повышают эффективность процесса и сокращают время обработки от нескольких часов до нескольких минут Продуманная и проверенная временем работа робота с двойным концевым усилителем обеспечивает непрерывную высокую производительность