Линия обработки для сельского хозяйства и пищевой промышленности EVG®150

для полупроводниковой пластины

EVG® 150 - это полностью автоматизированная система обработки резины, обеспечивающая высокую пропускную способность и поддерживающую способность пластин диаметром до 300 мм. Разработанный как полностью модульная платформа, EVG150 позволяет автоматизировать процессы распыления/спиначивания/разработки и обеспечивает высокую производительность. EVG150 гарантирует однородность покрытия и повышенную повторяемость. Вафли с высоким рельефом могут быть равномерно покрыты технологией OmniSpray EVG, где традиционное спиновое покрытие сталкивается с ограничениями. Особенности Размеры пластин до 300 мм До шести технологических модулей Настраиваемое количество - до двадцати простых пачек для выпечки/охлаждения/пары До четырех загрузочных портов FOUP или кассетной загрузки (до четырех FOUP) Доступны следующие модули: Spin Coat, Spin Coat, Spray Coat, NanoCoat™, Development, Bake/Chill/Vapor/Prime Собственная технология ультразвукового распыления EV Group OmniSpray® обеспечивает непревзойденные результаты процесса нанесения конформного покрытия на экстремальные рельефы Дополнительный модуль NanoSpray™ обеспечивает конформное покрытие глубиной 300 микрон с соотношением сторон до 1:10 и вертикальными боковинами Широкий спектр поддерживаемых материалов Модули для выпечки при температуре до 250 °C Мегасонические технологии очистки, сонохимической обработки и разработки повышают эффективность процесса и сокращают время обработки от нескольких часов до нескольких минут Продуманная и проверенная временем работа робота с двойным концевым усилителем обеспечивает непрерывную высокую производительность