Плазменные системы Nano можно комбинировать в различных вариантах как в модульной системе. Ниже приводится обзор самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Nano: Плазменные системы Nano преимущественным образом используются в следующих областях:
Аналитика
Археология
Автомобильная промышленность
Отделы исследований и разработок
Полупроводниковая техника
Мелкосерийное производство
Техника пластмасс
Медицинская техника
Микросистемная техника
Сенсорная техника
Стерилизация
Текстильная техника
Базовая комплектация
Размеры корпуса варьируются в зависимости от компонентов / опций
Объем камеры: в зависимости от версии 18–36 литров
Электропитание: 230 В для настольного прибора, 400 В / 3 фазы для напольного прибора
Подвод газа
Игольчатые клапаны
Регуляторы массового расхода (РМР)
Вакуумные камеры
Нержавеющая сталь, круглая с крышкой (прибл. ∅ 267 мм, Д 420 мм или Д 600 мм) или
Нержавеющая сталь, прямоугольная, дверь на шарнире (прибл. Ш 240 мм x В 240 мм x Г 420 мм или 600 мм)
Алюминий, круглая, с крышкой или дверью на шарнире (прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)
Кварцевое стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире (прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)
Боросиликатное стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)
Загрузка
Поддоны для обрабатываемых деталей (опция: с водяным охлаждением), лодочки из кварцевого стекла, вращающийся барабан для порошка, вращающийся барабан для сыпучих материалов, лист алюминия, лист нержавеющей стали, боросиликатное стекло, кварцевое стекло
Электроды
В один или несколько ярусов
РИТ