Плазменные системы от Diener electronic уже давно зарекомендовали себя в самых разных отраслях промышленности. С плазменной системой низкого давления Tetra 100 вы можете положиться на современную и перспективную технологию холодной плазмы в вакууме. Объем камеры этой плазменной системы составляет около 100 литров, что достаточно для серийного производства/автоматизации.
Обработка плазмой низкого давления - это проверенная технология для контролируемой сверхтонкой очистки, усиления адгезии (активация и травление) и нанесения тонких пленок на поверхности подложек. Плазма генерируется путем подачи высокочастотного напряжения в вакуумную камеру. При этом введенный туда технологический газ ионизируется.
Области применения:
Очистка органических остатков без летучих органических соединений
Активация перед покраской, склеиванием, нанесением покрытия ...
Травление ПТФЭ, фоторезиста, оксидных слоев, ...
Супергидрофобные и -гидрофильные покрытия
Основные характеристики:
Напольный корпус
Вакуумные камеры: Нержавеющая сталь или алюминий
Объем камеры: прибл. 100 литров
Подача газа: Контроллеры массового расхода (MFC)
Частоты генератора: 80 кГц (0 - 1000/3000 Вт), 13,56 МГц (0 - 300/600/1000 Вт), 2,45 ГГц (0 - 1000 Вт)
Управление: Базовое управление с ПК (Windows CE), полное управление с ПК (Windows 10 IoT)
Измерение давления: Пирани, емкостной манометр
---