Плазменные системы от Diener electronic уже давно зарекомендовали себя в самых разных отраслях промышленности. С плазменной системой низкого давления Pico вы можете положиться на современную и перспективную технологию холодной плазмы в вакууме. Объем камеры этой плазменной системы от 5 до 8 литров обеспечивает достаточное пространство для обслуживания лабораторного и серийного производства.
Обработка плазмой низкого давления - это проверенная технология контролируемой сверхтонкой очистки, усиления адгезии (активация и травление) и нанесения тонких пленок на поверхности подложек. Плазма генерируется путем подачи высокочастотного напряжения в вакуумную камеру. При этом введенный туда технологический газ ионизируется.
Области применения:
Очистка органических остатков без летучих органических соединений
Активация перед покраской, склеиванием, нанесением покрытия ...
Травление ПТФЭ, фоторезиста, оксидных слоев, ...
Супергидрофобные и -гидрофильные покрытия
Основные характеристики:
Настольный или напольный корпус
Вакуумные камеры: Нержавеющая сталь, алюминий, боросиликатное или кварцевое стекло
Объем камеры: 5 - 8 литров
Подача газа: Игольчатые клапаны или контроллеры массового расхода (MFC)
Частоты генератора: 40 кГц / (0 - 200 Вт); 100 кГц (0 - 500 Вт); 13,56 МГц (0 - 300 Вт) 2,45 ГГц (0 - 300 Вт)
Управление: Полуавтоматическое, поворотный переключатель, базовое управление с ПК (Windows CE), полное управление с ПК (Windows 10 IoT)
Измерение давления: Пирани, емкостной манометр
Плазменные системы Pico в основном используются в следующих областях:
Аналитика, археология, автомобилестроение, отделы исследований и разработок, полупроводниковая технология, мелкосерийное производство, технология пластмасс, медицинская технология, микросистемная технология, сенсорная технология, стерилизация, текстильная технология
---