Плазменные системы от Diener electronic уже давно зарекомендовали себя в самых разных отраслях промышленности. С плазменной системой низкого давления Zepto вы можете положиться на современную и перспективную технологию холодной плазмы в вакууме. Объем камеры этой плазменной системы составляет примерно 1 - 4 литра, что достаточно для обслуживания лабораторий и мелкосерийного производства.
Обработка плазмой низкого давления - это проверенная технология для контролируемой сверхтонкой очистки, усиления адгезии (активация и травление) и нанесения тонких пленок на поверхности подложек. Плазма генерируется путем подачи высокочастотного напряжения в вакуумную камеру. При этом введенный туда технологический газ ионизируется.
Области применения:
Очистка органических остатков без летучих органических соединений
Активация перед покраской, склеиванием, нанесением покрытия, ...
Основные характеристики:
Корпус стола
Вакуумные камеры: Боросиликатное стекло, RIE - колокол из алюминия, прямоугольная камера, содово-известковое стекло
Объем камеры: прибл. 1 - 4 литра
Подача газа: Игольчатые клапаны, контроллеры массового расхода (MFC)
Частоты генератора: 40 / 100 кГц мощностью 0 - 100 Вт, 13,56 МГц мощностью 0 - 200 Вт, 2,45 ГГц мощностью 0 - 150 Вт
Управление: Ручное, поворотный переключатель, базовое управление с ПК (Windows CE)
Плазменные системы Zepto в основном используются в следующих областях:
Аналитика, археология, автомобилестроение, отделы исследований и разработок, полупроводниковая технология, мелкосерийное производство, технология пластмасс, медицинская технология, микросистемная технология, сенсорная технология, стерилизация, текстильная технология
---