Плазменные системы от Diener electronic уже давно зарекомендовали себя в самых разных отраслях промышленности. С плазменной системой низкого давления Nano вы можете положиться на современную и перспективную технологию холодной плазмы в вакууме. Объем камеры этой плазменной системы от 18 до 24 литров обеспечивает достаточное пространство для обслуживания лабораторного, а также серийного производства.
Плазменная обработка в плазме низкого давления - это проверенная техника для контролируемой сверхтонкой очистки, улучшения адгезии (активация и травление) и нанесения тонких слоев на поверхности подложек. Плазма генерируется путем подачи высокочастотного напряжения в вакуумную камеру. При этом введенный туда технологический газ ионизируется.
Области применения:
Очистка органических остатков без летучих органических соединений.
Активация перед покраской, склеиванием, нанесением покрытия, ...
Травление ПТФЭ, фоторезиста, оксидных слоев, ...
Супергидрофобные и -гидрофильные покрытия.
Основные характеристики:
Настольный или напольный
Вакуумные камеры: Нержавеющая сталь, алюминий, боросиликатное или кварцевое стекло
Объем камеры: 18 - 24 литра
Подача газа: Контроллеры массового расхода (MFC)
Частоты генератора: 100 кГц (0 - 500 Вт), 80 кГц (0 - 1000 Вт), 13,56 МГц (0 - 300 Вт), 2,45 ГГц (0 - 600 Вт)
Органы управления: Полуавтоматическое, поворотный переключатель, базовое управление с ПК (Windows CE), полное управление с ПК (Windows 10 IoT)
Измерение давления: Пирани, емкостной манометр
Наноплазменные системы в основном используются в следующих областях:
Аналитика, археология, автомобилестроение, научно-исследовательские отделы, полупроводниковая технология, мелкосерийное производство, технология пластмасс, медицинская технология, микросистемная технология, сенсорная технология, стерилизация, текстильная технология.
---