Дополнительные метрологические опции CIMS предназначены для дальнейшего расширения возможностей контроля полупроводниковых устройств. Эти опции могут быть интегрированы в оборудование CIMS, обеспечивая нашим клиентам новый уровень контроля качества.
Дополнительные опции CIMS включают уникальные возможности 2D- и 3D-метрологии, позволяющие выполнять расширенные измерения в ходе обычного цикла контроля. Это устраняет необходимость в использовании автономных специализированных метрологических систем и сокращает цикл обратной связи по обеспечению качества.
---