Измерительная машина шероховатости WD4200

толщинаоптическаяавтоматическая

Система 3D-инспекции непаттернированных пластин серии WD4000 может автоматически измерять толщину пластин, шероховатость поверхности и микро-нано- 3D-микротопографию за один раз. Используйте конфокальные зонды белого света для измерения толщины пластины, TTV, LTV, BOW, WARP, шероховатости линий; используйте интерферометрический зонд белого света для сканирования поверхности пластины, чтобы создать изображение 3D профиля поверхности, затем проанализируйте шероховатость и соответствующие 2D и 3D параметры в соответствии со стандартами ISO/ASME/EUR/GBT. 3D-форма, основанная на верхней и нижней поверхностях пластины, восстанавливается путем бесконтактного измерения. Мощное программное обеспечение для измерений и анализа обеспечивает стабильный расчет толщины, шероховатости, общей вариации толщины (TTV) пластины.