Измерительная машина толщина BOKI_1000

объемаоптическая3D

Система для измерения критических размеров и наложения узорчатых пластин - это оптический прибор, который может выполнять как высокоточный контроль размеров в плоскости XY, так и субнанометровое измерение 3D-топографии поверхности. Он может точно и автоматически сканировать несколько областей на большой поверхности с отличной повторяемостью, что значительно повышает эффективность измерений и снижает человеческий фактор. Оснащенный оптическим объективом высокого разрешения, сочетающий в себе высокоточный алгоритм анализа изображения, в режиме ЧПУ система может автоматически позиционировать и распознавать объекты измерения, затем автоматически измерять и оценивать все размеры в соответствии с программой. В то же время, она интегрирует систему измерения интерферометрии белого света, которая может сканировать поверхность пластины для создания 3D изображения профиля поверхности, а затем анализировать размеры в Z-направлении на нанометровом уровне. Он широко используется в таких отраслях сверхточной обработки, как производство полупроводников и контроль процесса упаковки, оптическая обработка, производство компонентов МЭМС и т.д. Применение Измерение смещения накладки Измерение ключевых размеров измерение 3D-размеров Измерение глубины травления и анализ профиля Измерение глубины и ширины лазерных канавок