Удаленный плазменный источник MAXstream

Линия MAXstream™ компании Advanced Energy - это следующее поколение дистанционных источников плазмы для очистки камер. MAXstream выпускается с расходом NF3 3, 6, 8, 10 и 12 SLPM для оптимизации цены и производительности. Обеспечивая длительный срок службы камеры и низкое образование частиц, Advanced Energy предлагает проверенные и дифференцированные материалы и технологии источников плазмы. Уникальная конструкция сердечника с двойным зажиганием обеспечивает лучшую в своем классе надежность зажигания плазмы. Благодаря надежному и своевременному зажиганию MAXstream RPS обеспечивает более стабильную работу и меньшее время простоя для обслуживания RPS. MAXstream RPS обеспечивает совместимость с традиционными системами RPS, упрощая проектирование, а также обеспечивая беспроблемную модернизацию в полевых условиях до нового надежного и воспроизводимого решения. - Пять моделей: MAXstream 300 для применения при низком расходе и MAXstream 600, 800, 1000, 1200 для применения при высоком расходе - Высоконадежная система RPS максимально увеличивает время безотказной работы инструмента - Возможность установки на традиционные блоки RPS для легкой модернизации конструкции до более высокой производительности и надежности - Усиленное охлаждение стенок источника плазмы для уменьшения повреждений от теплового расширения и химической эрозии - Активный мониторинг и контроль мощности плазмы для лучшего в отрасли управления мощностью