По мере развития технологий производства новые материалы и конструкции катодов создают все больше проблем для стабильности процесса и повторяемости пленки. Источники питания Ascent® AMS обеспечивают стабильную, повторяемую мощность независимо от материала процесса или конструкции катода. В AMS реализовано усовершенствованное управление дугой, обеспечивающее максимальную мощность при более быстром восстановлении процесса. Чрезвычайно быстрое восстановление также означает крайне низкую энергию, поступающую через дугу, что предотвращает повреждение подложки. Для высокомощных применений Ascent AMS может использоваться в первичной/вторичной конфигурации. Обычно применяются конфигурации мощностью более 100 кВт. При этом комбинированная конструкция водяного/воздушного охлаждения позволяет свести площадь генератора к минимуму.
- Технология Arc Management System™ (AMS) - предварительные настройки заказчика для металлических и керамических мишеней
- Технология Set Point Compensation™
- Технология Arc Sync® - первичная/вторичная дуга до 12 единиц
- Ethernet, EtherCAT®, DeviceNet®, Profibus, RS-232/485, Ethernet/IP и аналоговые коммуникации
- Обеспечьте высокое качество пленки и производительность
- Сокращение повреждений пленки, подложки и оборудования
- Стабильная производительность и подача энергии в экстремальных условиях дуги
- Простая интеграция и управление
---