Пластины нанопозиционирования с перекрестными роликами

Ход: 100, 200, 300 mm
Скорость: 5 mm/s
Повторяемость: 0,015 µm - 0,02 µm

... LA97 - Вакуумные линейные этапы и оси Нанометрическая линейная ступень HV / UHV до 10E-11, перемещение 100 - 300 мм, повторяемость 0,02 мкм, нагрузка до 10 кг - Вакуум: все области HV / UHV до 10E-11 мбар - Смазка: жидкая до 10E-8 ...

Ход: 10 mm
Скорость: 5 mm/s

... - Вакуум: все диапазоны HV / UHV / EUV до 10-11 мбар - Смазочная жидкость до 10-8 / сухой до 10-11 мбар - Макс. Температура выпечки: 120°C - Диафрагма: 80 x 80 мм Возможность конфигурации по выбору: - С измерительной системой и без нее - ...

Ход: 10 mm
Скорость: 5 mm/s

... Микроштатив с поперечными роликовыми подшипниками и пьезомотором для шагов в нанометровом диапазоне. Микрокаскад с высоким разрешением Самый маленький этап в ассортименте продукции Steinmeyer Mechatronik обеспечивает очень высокое разрешение. ...

Ход: 25, 100, 75, 50 mm
Скорость: 145, 500 mm/s
Повторяемость: 75 nm

... Линейные каскады ANT95L второго поколения являются ведущим решением для решения задач перемещения и позиционирования на нанометровом уровне. Они доступны в различных конфигурациях и являются лучшими в своем классе по сочетанию разрешения, ...

Ход: 25, 50 mm
Скорость: 0,2 m/s
Повторяемость: 75 nm

... Наши каскады второго поколения ANT95LZ специально разработаны для обеспечения перемещений и позиционирования на нанометровом уровне в вертикальной ориентации. Регулируемый пользователем пневматический противовес со сверхнизким коэффициентом ...