Источник ионов RF

12 см РФ Источник ионов Предназначен для улучшения процесса осаждения ионного луча длинноходового действия Улучшение характеристик и качества длительных непрерывных реактивных процессов, таких как ассистирование ионного пучка или осаждение ионного пучка высококонтролируемых оптических покрытий с помощью источника ионов RF 12 см Veeco. Он оснащен единственным в отрасли РФ нейтрализатором безфильтрации, который обеспечивает низкие эксплуатационные расходы и длительный срок службы. 12-сантиметровый источник ионов RF идеально подходит для процессов, использующих 100% аргон, кислород или другие реакционные газы. Поддерживает широкий диапазон работы: 50 до 1500eV и 50 до 500mA Надежная, равномерная работа как в инертной, так и в окислительной среде Водяное охлаждение - Работа на малой и средней мощности Стабильная и эффективная плазменная работа обеспечивает точное управление и высокую воспроизводимость результатов Хорошо подходит как для серийного, так и для погрузочно-разгрузочного производства