Источник ионов DC

Источник ионов постоянного тока 6 см x 30 см Источник ионов постоянного тока Линейный источник для больших/широких субстратов или больших партий субстрата Проверенные временем источники ионов постоянного тока с линейной сеткой Veeco идеально подходят для высокооднородных и надежных платформ для осаждения ионного пучка с использованием больших/широких отдельных подложек или больших серий подложек. Они являются отличным ресурсом для линейного или цилиндрического крепления. Обладает такой же инновационной конструкцией, качеством и надежностью, как и первоклассные источники круглого ионного пучка Veeco Обеспечивает равномерную плотность плазмы и сильноточного тока Поддерживает широкий диапазон энергии пучка от 50 до 2000 эВ при номинальных токах пучка на источник до 500 мА Возможности источника питания позволяют подавать токи луча до 800 мА