16 см РФ Источник ионов
Широкий, унифицированный источник ионов RF для высокореактивных процессов
Veeco предлагает широкий однородный источник ионного пучка для реактивных процессов, таких как вспомогательное ионное излучение или ионно-лучевое осаждение высокоуправляемых оптических покрытий.
Поддерживает широкий диапазон работы: 50 до 1500eV и 75 до 700mA
Надежная, равномерная работа как в инертной, так и в окислительной среде
Водяное охлаждение - для работы на низком и высоком уровне мощности
Опциональная конструкция с четырьмя решетками обеспечивает очень высокую коллимацию
Особенности единственного в отрасли РФ нейтрализатора без фильтра, который обеспечивает низкие эксплуатационные расходы и длительный срок службы
Стабильная и эффективная плазменная работа обеспечивает точное управление и высокую воспроизводимость результатов
Хорошо подходит как для серийного, так и для погрузочно-разгрузочного производства
---