Измерительная система критического размера DaVinci

оптическаядля полупроводниковых пластинбесконтактная

Наложение Наложение - это процесс выравнивания верхнего слоя с нижним. Ошибка наложения определяется как отклонение между этими двумя слоями. Измерение погрешности наложения представляет собой процесс визуализации с расчетом отклонения на двух различных метках наложения, которые в основном создаются различными процессами и состоят из различных материалов. Для измерения наложения поддерживаются конструкции типа "коробка в коробке", "рама в раме", L-образные планки, "круг в круге", "крест в кресте" или индивидуальные конструкции. Критическое измерение Оптические измерения - это бесконтактный, неразрушающий метод измерения, точный и быстрый. Ширина структуры может быть рассчитана путем извлечения информации об интенсивности из изображений. Изображения интенсивности должны быть обработаны для предотвращения помех от шума или деформации. Метрологическая система TZTEK обеспечивает функцию устранения таких помех. При ширине структуры менее 0,7 мкм можно применять ультрафиолетовое излучение. Толщина пленки Система предназначена для измерения толщины прозрачной или полупрозрачной диэлектрической пленки (резиста) до трех слоев. Встроена функция автоматической калибровки. основные характеристики -Измерение критических размеров, наложение -Возможна настройка для OC, SMIF и FOUP -Доступно для пластин размером 200/300 мм и их комбинации -Видимый свет и ультрафиолетовое излучение являются дополнительными -SECS/GEM