Регистрация наклона в гравитационном поле с помощью MEMS-датчиков (Micro-Electro-Mechanical-System) с последующей оцифровкой и линеаризацией через контроллер. Вывод данных осуществляется через интерфейс CANopen или в виде аналогового сигнала. Датчик наклона имеет стабильный алюминиевый корпус (опционально из нержавеющей стали). Имеются пазы для механической центровки (до прим. ± 7,5°). В случае CANopen для подключения можно выбрать один разъем или одну комбинацию штекерных/штекерных разъемов. Меры по литью в корпусе приводят к достижению степени защиты IP 69K, например, для использования под водой. МЭМС-датчики представляют собой интегральные схемы, изготовленные по микромеханической технологии объемного кремния. Эти микромеханические структуры используются для формирования двойной емкости. Если эти конструкции отклоняются в случае ускорения, например, гравитационного ускорения (g), то это приводит к изменению емкости, которое регистрируется и далее обрабатывается с помощью измерительной техники. Из-за описанной здесь зависимости от дифференциальной емкости выходное напряжение следует за функцией U ∝ g * sin α. В этом случае угол α является углом наклона датчика, измеренным относительно g-вектора. Эти датчики точно измеряют, имеют длительный срок службы и очень прочны. Оси измерения работают независимо друг от друга.
---