Антивибрационная платформа STACIS Quiet Island

Заводы по производству полупроводников (фабрики), нанотехнологические центры, Nanofabs и другие прецизионные производственные и исследовательские учреждения часто включают в себя чистые помещения с системой фальшполов для удовлетворения сложных требований к оборудованию (сантехника, электрические кабели, газовые трубы и т.д.) и для поддержания строгих стандартов чистоты. Такие полы представляют собой сложную задачу при установке виброчувствительного производственного, контрольного и метрологического оборудования. Фальшполы не могут обеспечить необходимую бесшумную вибрацию для таких инструментов. Quiet Island® компании TMC - это инновационное решение, которое заменяет секцию фальшполов на "Quiet Island", прикрепленную к нижнему этажу. Quiet Island состоит из чистой комнаты, совместимой с платформой верхней части, в сочетании с приложением и поддержкой, специфичной для конкретного участка. Отмена вибрации Основным вспомогательным элементом и основной технологией, уникальной для "тихого острова", является активная система виброгашения STACIS III. Эта "жесткая" система инерциальной виброгасительной поддержки имеет решающее значение для любого виброчувствительного инструмента, позволяя таким инструментам работать по высочайшим стандартам в шумной среде, которая в противном случае была бы шумной. STACIS III совместим с автоматизированными инструментами для обработки пластин, инструментами для получения изображений высокого разрешения eBeam, ионно-лучевыми фрезами, а также любым инструментом с системами внутренней виброизоляции, как пассивным, так и активным (см. наш технический документ по укладке активных пластин на активные изоляторы). Кроме того, он обеспечивает самую вибрационную изоляцию в самом широком частотном диапазоне, доступном на рынке. А конструкция "жесткого крепления" чрезвычайно жесткая, так что не нужно заботиться о стабильности высоких инструментов с верхним утяжелением.