Антивибрационная система активного типа Stage-Base 450

для полупроводниковой промышленности

Компания TMC продолжает использовать передовые технологии для разработки новых решений, отвечающих сложным требованиям, которые полупроводниковые инструменты предъявляют к системам виброизоляции. Система Stage-Base 450 специально разработана для использования в качестве основной системы виброизоляции в передовых полупроводниковых инструментах, которые оснащены высокоточными моторизованными X-Y каскадами. Хотя такие инструменты требуют чрезвычайно эффективного подавления вибраций, не менее важно, что они требуют, чтобы движение полезной нагрузки, вызванное каскадом, очень быстро успокаивалось, чтобы максимизировать производительность инструмента. Благодаря добавлению VCM с функцией feed-forward control для еще более быстрого времени успокоения, что еще больше увеличивает производительность, в результате получилась самая передовая система активного подавления вибраций и движений для приложений с подвижными каскадами. Преимущество системы Stage-Base - Stage-Base 450 - это следующее поколение активных пьезоэлектрических систем подавления вибраций с жестким креплением, интегрирующих технологию звуковой катушки. Только TMC может предложить эту уникальную технологию последовательного типа для усовершенствованного подавления низкочастотной вибрации с моторами со звуковой катушкой (VCM) для агрессивного подавления движения движущейся сцены. Система активного управления Stage-Base 450 нового поколения включает в себя технологию STACIS компании TMC для достижения экстремального подавления вибраций с помощью пьезоэлектрических приводов и жесткой подвески в архитектуре последовательного типа. В результате достигается непревзойденная в отрасли виброизоляция пола от 0,6 Гц при значительно меньшем начальном отклонении в ответ на усилия сцены. - Воплощает уникальную технологию STACIS® - Используются пьезоэлектрические приводы с большим усилием и увеличенным ходом - Повторяемость положения полезной нагрузки с точностью до микрона - Конструкция, монтируемая на раму - 6 активных степеней свободы