Ротационный магнетрон TC-Series

для ионного распыления

Внутренние торцевые блоки TC-серии имеют уникальную технологию передачи мощности в самой компактной из доступных конструкций. TC может обрабатывать мишени до 1500 мм и имеет номинальную мощность 40 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC. Внутренне монтируемые торцевые блоки SCI отличаются высокой надежностью и простой, легко обслуживаемой конструкцией. Односторонняя конфигурация уменьшает количество вращающихся и статических уплотнений, что является одним из наиболее распространенных режимов отказа вращающихся катодов. Наша уникальная функция наполнения и слива воды позволяет улучшить целевое охлаждение и полный слив целевой воды при продувке. Конструкция исключает возможность возникновения гальванической коррозии внутри торцевого блока, которая может привести к утечке воды и короткому замыканию. Внутренне монтируемые торцевые блоки Sputtering Components TC могут быть установлены на любом новом меловальном станке или легко заменены на плоскостные системы. Особенности Запатентованная технология энергоснабжения Уникальный способ крепления мишени Прочные, долговечные ротационные уплотнения Самая компактная конструкция доступна для стандартных, промышленных целей Непатентованная целевая конструкция Подходит для стандартных целевых размеров Запатентованная функция целевого наполнения/дренажа воды Преимущества Высокая надежность Простота установки Быстрое изменение цели 2 часа ежегодного технического обслуживания; 3 часа общей реконструкции конечных блоков Очень низкая стоимость обслуживания Использовать мишени от любого поставщика Отличная мощность без индуктивного нагрева - нет пыли с щетки Отсутствие гальванической коррозии