Ротационный магнетрон SC-Series

для ионного распыления

Наш самый большой внутренний монтируемый торцевой блок, SC может обрабатывать мишени до 4000 мм и имеет номинальную мощность до 200 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC Внутренне монтируемые торцевые блоки SCI отличаются высокой надежностью и простой, легко обслуживаемой конструкцией. Односторонняя конфигурация уменьшает количество вращающихся и статических уплотнений, что является одним из наиболее распространенных режимов отказа вращающихся катодов. Наша уникальная функция наполнения и слива воды позволяет улучшить целевое охлаждение и полный слив целевой воды при продувке. Такая конструкция исключает возможность возникновения гальванической коррозии внутри торцевого блока, которая может привести к утечке воды и короткому замыканию. SC торцевые блоки Sputtering Components могут быть установлены на любом новом меловальном станке или легко заменены другими вращающимися торцевыми блоками или плоскими системами. Особенности Запатентованная технология энергоснабжения Уникальный способ крепления мишени Прочные, долговечные ротационные уплотнения Монтаж на крышку в соответствии с промышленным стандартом Непатентованная целевая конструкция Запатентованная цель заполнение воды abd drain Магнитную планку можно установить под любым углом Преимущества Самая высокая надежность на рынке Простота установки или дооснащения из конкурирующих торцевых колодок Самое быстрое изменение цели 1 час ежегодного технического обслуживания; 3 часа общей реконструкции конечных блоков Самая низкая стоимость обслуживания Использовать мишени от любого поставщика Высокая мощность без индуктивного нагрева - нет пыли с щетки Отсутствие гальванической коррозии