Ротационный магнетрон cMC-Series

Наше новейшее предложение, cMC является более тонкой версией MC, нашего внутреннего торцевого блока среднего размера. СМС может обрабатывать мишени размером до 2500 мм и имеет номинальную мощность до 100 кВт постоянного тока или 80 кГц MFAC Торцевые блоки SCI имеют высокую надежность и простую, удобную в обслуживании конструкцию. Односторонняя конфигурация уменьшает количество вращающихся и статических уплотнений, что является одним из наиболее распространенных режимов отказа вращающихся катодов. Наша уникальная функция наполнения и слива воды позволяет улучшить целевое охлаждение и полный слив целевой воды при продувке. Конструкция исключает возможность возникновения гальванической коррозии внутри торцевого блока, которая может привести к утечке воды и короткому замыканию Торцевые блоки СМС Sputtering Components могут быть установлены на любом новом меловальном станке или могут легко заменить компактные вращающиеся торцевые блоки Soleras или плоские системы. Особенности Запатентованная технология энергоснабжения Уникальный способ крепления мишени Прочные, долговечные ротационные уплотнения Монтаж на крышку в соответствии с промышленным стандартом Непатентованная целевая конструкция Запатентованная цель заполнение воды abd drain Магнитную планку можно установить под любым углом Преимущества Самая высокая надежность на рынке Простота установки или дооснащения из конкурирующих торцевых колодок Самое быстрое изменение цели 1 час ежегодного технического обслуживания; 3 часа общей реконструкции конечных блоков Самая низкая стоимость обслуживания Использовать мишени от любого поставщика Высокая мощность без индуктивного нагрева - нет пыли с щетки Отсутствие гальванической коррозии