Конструкция оптимизированная для низкого ограничения подачи и тщательной электрополировки внутренних поверхностей
Уменьшенный внутренний том на короткие времена продувки
Все газ-намоченные части сделанные из нержавеющей стали SS 316L, Hastelloy C276 и PCTFE или PVDF соответственно
Single-stage регулятор
Регулятор можно эвакуировать
Внутренние разъемы для манометров
Высокая точность управления
Metal-to-metal уплотнение к атмосфере
Высокое качество поверхности
In-/Outlet UNF 7/8-14 (1/2» VCR-совместимое); индикатор давления переносит UNF 9/16-18 (1/я» VCR-совместимое)
Просто ограничение давления выхода маховичком
100% гели-утечк-испытало
Агрегат в типе 100/10 cleanroom
Опционный acc документации. к SEMASPEC
---