Панели управления давлением для полупроводниковых газов качества 6.0
Клапан отходящих газов
Ручной (пневматический) клапан технологического газа (EMO-)
Продувочный газовый клапан
Обратный клапан для предотвращения попадания технологического газа обратно в магистральный газопровод
Предварительный фильтр
Регулятор давления
Разрывная мембрана
Фильтр для подачи технологического газа без частиц
Запорный клапан технологического газа
Все детали, смачиваемые газом, изготовлены из нержавеющей стали 1.4404 ESU, а также из гастеллоя C и PCTFE
100% испытание на утечку гелия
Сборка в классе чистых помещений 100/10
---