Надавите пульты управления для газов полупроводника от качества 6.0
Расточительствуйте клапан для впуска горючей смеси
Ручной (пневматический) отростчатый клапан газа (EMO-)
Клапан для впуска горючей смеси продувки
Задерживающий клапан для того чтобы предотвратить отростчатый газ от пропускать назад в газопровод puge
Pre-фильтр
Регулятор давления
Диск взрыва
Датчик давления в опоре для контроля диска взрыва
Клапан сброса
Фильтр для частиц-свободной отростчатой поставки газа
Отростчатый газопровод запорный клапан
Клапан сброса давления системы (низкого давления)
Запорный клапан для испытания утечки или испытания вакуума
Разъем вакуума
Все газ-намоченные части сделали от нержавеющей стали 1.4404 ESU также, как Hastelloy c и PCTFE
100% гели-утечк-испытало
Агрегат в типе 100/10 cleanroom
---