Интерферометр для применения в OEM SP 5000 DI/DS

для измерения смещениядля измерения длиныоптический

Описание
SP 5000 DI/DS сочетает принцип дифференциального интерферометра с многолучевым интерферометром, обеспечивая одновременные высокостабильные измерения длины и интерферометрического угла (наклона). Такая конфигурация позволяет обнаруживать крайне малые перемещения и незначительные наклоны на больших площадях при сниженной чувствительности к тепловым и экологическим воздействиям.

Ключевые характеристики

• Четырехлучевая лазерная интерферометрическая система для дифференциального измерения перемещения и угла
• Стабильные дифференциальные измерения длины и угла тангажа
• Разработано для интеграции на XY‑столах и плоских зеркалах
• Расстояния между лучами: 15 мм (измерение длины) и 6 мм (измерение угла)
• Чрезвычайно низкая температурная чувствительность < 20 nm / K
• Доступны OEM‑ и вакуумные версии по запросу

Применение и использование
Интерферометр предназначен для установки на плоские зеркала или как встроенная измерительная система; возможна работа с отражателями. Настройка выполняется с помощью ультра‑стабильных оптических компонентов, интегрированных в ход луча, что обеспечивает воспроизводимые и длительно стабильные измерения.

Области применения

• Одновременное измерение длины и угла для компенсации ошибки Аббе в прецизионных измерительных схемах
• Контроль положения X‑Y столов при использовании системы с двумя головками‑датчиками
• Длительно стабильные измерения длины и угла с максимально возможным разрешением

Идеально для

• Долгосрочного мониторинга и калибровки
• OEM‑интеграции в прецизионные системы
• Применений с высочайшими требованиями к стабильности и разрешающей способности

Технические характеристики

• Диапазон измерения (длина): 0 m до ≥ 2 m
• Разрешение по длине: 5 pm
• Неопределённость измерения длины: 0,15 µm/m
• Максимальный угол наклона (с плоским зеркалом): ±430 µrad
• Разрешение по углу: 0,02 µrad
• Расстояния между лучами: 15 мм (длина), 6 мм (угол)
• Температурная чувствительность: < 20 nm / K
• Принцип измерения: комбинация дифференциального интерферометра и многолучевого интерферометра для одновременного измерения длины и угла
• Модификации: стандартная, OEM‑варианты и вакуумные версии (по запросу)