Лазерный интерферометр SP 5000 DI

для применения в OEMдля измерения нанометрического диапазонадля измерения длины

Наш сверхстабильный дифференциальный лазерный интерферометр SP 5000 DI отличается уникальной термической стабильностью и поэтому является предпочтительным выбором для долгосрочных измерений в сфере научных исследований и разработок, например, для анализа свойств материалов. В отличие от стандартного интерферометра, в дифференциальной версии опорный луч выводится из головки датчика и проходит параллельно измерительному лучу. Такая конструкция позволяет размещать датчик на большем расстоянии от фактического места измерения без существенного ухудшения разрешения или стабильности измерений. Разрешение по длине данного интерферометра находится в субнанометровом диапазоне и, благодаря дифференциальному принципу, может быть достигнуто при сопоставимых длинах измерения или луча даже в обычных лабораторных условиях. Диапазон измерения длины может составлять несколько метров, если для измерений используются инвариантные по наклону отражатели. Интерферометрическая измерительная система имеет модульную конструкцию и, таким образом, может быть адаптирована к конкретной измерительной задаче. Настройка проста и, в частности, может быть реализована с обеспечением долгосрочной стабильности. Расширение до интерферометрической многоосевой системы на базе интерферометра SP 5000 DI позволяет проводить одновременные многокоординатные измерения. минимизация влияния окружающей среды за счет дифференциального измерения термически долгосрочно стабильный датчик, температурная чувствительность < 20 нм/К возможность использования различных оптических отражателей, например, сферических или плоских зеркальных отражателей высокая устойчивость измерительного отражателя к наклону корпус датчика из нержавеющей стали в стандартной комплектации расстояние между лучами: 21 мм широкие возможности синхронизации