Лазерный интерферометр SP 5000 DI

для применения в OEMдля измерения нанометрического диапазонадля измерения длины

Высокостабильный дифференциальный лазерный интерферометр с двумя параллельными измерительными лучами - дифференциальное измерение длины или угла с высочайшей точностью - минимизация влияния окружающей среды благодаря дифференциальному измерению - термически долговременный стабильный датчик, температурная чувствительность < 20 нм/К - возможность использования различных оптических отражателей, например, сферического или плоского зеркального отражателя - большая инвариантность наклона измерительного отражателя - стандартное исполнение головки датчика из нержавеющей стали - расстояние до луча: 21 мм - широкие возможности запуска - открытые интерфейсы для программного обеспечения OEM под Windows и Linux Наш сверхстабильный дифференциальный лазерный интерферометр SP 5000 DI отличается уникальной термической стабильностью и поэтому предпочтителен для долгосрочных измерений в исследованиях и разработках, например, для анализа свойств материалов. В отличие от стандартного интерферометра, в дифференциальном варианте опорный луч выводится из головки датчика и идет параллельно измерительному лучу. Эта концепция позволяет размещать датчик на большем расстоянии от места измерения без существенного влияния на разрешение и стабильность измерений. Разрешение по длине этого интерферометра находится в субнанометровом диапазоне и, благодаря дифференциальному принципу, может быть достигнуто при сопоставимых длинах измерения или луча даже в обычных лабораторных условиях. Диапазон измерения длины может составлять несколько метров, если для измерений используются инвариантные по наклону отражатели. Интерферометрическая измерительная система имеет модульную конструкцию и может быть адаптирована к соответствующей измерительной задаче.