Вертикальная автоматическая система хранения

для кассетыдля чистого помещениявысокая плотность

Обзор
Автоматизированное решение для высокоплотного хранения в полупроводниковом производстве, разработанное для максимального использования вертикального пространства и интеграции с системами обработки материалов на фабрике.

Ключевые особенности

• Быстрое развертывание с автоматическим обучением и тестированием уровня материалов
• Высокоплотное хранение, максимально использующее площадь пола и вертикальное пространство
• Разработано для 300 мм фабрик по производству пластин
• Совместимо с ARV, OHT, OHS и ручными процессами
• Интеграция с системами управления материалами на производстве
• Соответствие чистым помещениям: ISO14644-14, стандарту SEMI S2 и требованиям ESD

Stocker — Введение в применение
Автоматизированное решение для хранения и управления запасами на линиях полупроводникового производства, обеспечивающее онлайн-буферизацию и безопасную обработку пластин и носителей.

Применяется для

• Высокоплотного хранения и полного использования вертикального пространства
• Быстрых тактов и оперативного потока материалов
• Интеграции в систему управления материалами на предприятии
• Быстрой реализации с автоматическим обучением/тестированием уровня
• Совместимости с автоматизированными процессами ARV/OHT/OHS и ручными операциями
• Соответствия Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 и требованиям ESD

E-RACK/TT — Описание функций

• Онлайн-хранилище для полупроводников, поддерживает FOUP, CASSETTE, Magazine и Tray
• Возможность стыковки с ARV и ручной загрузки/разгрузки
• Стандартный программный интерфейс SEMI и модульная конструкция
• Соответствует Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 и требованиям ESD

Технические характеристики

• Применение: автоматизированное хранение и управление материалами для полупроводникового производства
• Поддерживаемые контейнеры: FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray
• Совместимость: ARV/OHT/OHS и ручная загрузка/разгрузка
• Соответствие чистым помещениям: ISO14644-14
• Стандарты: соответствует SEMI S2
• ESD-защита: соответствует требованиям ESD
• Конструкция: модульная
• Внедрение: быстрое развертывание с автоматическим обучением/тестированием уровня
• Целевая размерность вафера: 300 мм
• Основные преимущества: высокоплотное хранение и оптимизация использования вертикального пространства