Массовый регулятор расхода MFC5000

для газаDeviceNetProfiNet

Регуляторы массового расхода газа серии MFC5000 изготовлены в соответствии со стандартами SEMI для соответствующих областей применения. Данная продукция предлагает широкий спектр вариантов шинной связи, включая DeviceNet, ProfiNet, EtherCat и IO-Link. По запросу эти интерфейсы также могут быть дополнительно настроены в соответствии с индивидуальными требованиями. Регулятор MFC5000 предназначен для управления технологическими процессами и обладает динамическим диапазоном 100:1. Он обеспечивает регулирование давления в диапазоне от 0,1 до 1 МПа (от 15 до 150 PSI) и компенсированный температурный диапазон от 0 до 50 °C. Устройство также может работать в условиях вакуума.