Серия MFC2000 предназначена для массового контроля расхода общего назначения для чистых и сухих газов. В них используется разработанный компанией чувствительный чип Thermal-D, и они могут применяться для некоррозионных газов с известной диффузионной способностью.
Контроллеры массового расхода серии MFC2000 производятся с использованием запатентованной компанией Siargo технологии калориметрии MEMS (микроэлектромеханических систем) с диффузионной чувствительностью (Thermal-D ®), которая измеряет калориметрию и диффузионную способность текучей среды. Эта технология по сравнению с обычным калориметрическим измерением обеспечивает гораздо лучшую линейность во всем динамическом диапазоне, устраняет газовую чувствительность для газов, имеющих сходную тепловую диффузию, и повышает точность измерения и управления при использовании коэффициента преобразования газа. Он также одновременно выводит данные о мгновенной температуре текучей среды и улучшает температурные характеристики метода теплового зондирования.
---