Массовый регулятор расхода MFC series

для газаэкономичныйкомпактный

Обзор
Семейство MFC представляет регуляторы массового расхода для некоррозионных газов, охватывающие различные диапазоны расхода и промышленные применения. Стандартные интерфейсы: аналоговый и RS485 Modbus; доступны дополнительные шины (DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat, IO-Link) в зависимости от серии.

MFC2000

• Универсальные регуляторы массового расхода газов
• Полный диапазон: 50 mLn/min – 200 Ln/min
• Интерфейсы: аналоговый и RS485 Modbus; опциональные промышленные шины

MFC4000

• Предназначены для контроля расхода некоррозионных газов
• Полный диапазон: 50 mLn/min – 1000 mLn/min
• Компактный корпус для приборов и портативного оборудования
• Интерфейсы: аналоговый и RS485 Modbus; опции шин

MFC5100M

• Полный диапазон до 100 Ln/min
• Интегрированный сенсорный экран для базовых функций
• Доступен RS485 Modbus; другие варианты связи перечислены как альтернативы

MFC5000

• Серия, соответствующая стандартам SEMI для управления процессами
• Широкая поддержка шин связи: DeviceNet, ProfiNet, EtherCat, IO-Link и др.
• Динамический диапазон 100:1; управление давлением 0.1–1 MPa (15–150 PSI)
• Диапазон компенсации температуры: 0–50°C; возможна работа в вакууме

MFC1100

• Управление большими расходами газа: полный диапазон 20–50 Ln/min
• Выходы управления: аналоговый (0–5 Vdc или 4–20 mA) и RS485 Modbus для управления пропорциональным клапаном
• Динамический диапазон 100:1; давление 0.1–0.8 MPa (15–117 PSI); компенсация температуры 0–55°C
• Типичные применения: цифровая подача анестезии, сварочные газы

MFC1600

• Экономичный корпус из алюминиевого сплава
• Разработан для управления очень малыми расходами некоррозионных газов
• Интерфейсы: аналоговый и RS485 Modbus
• Диапазон давления: 0.1–0.8 MPa (15–120 PSI); компенсация температуры 0–50°C
• Типичные применения: осаждение тонких пленок, медицинское оборудование

Технические характеристики / параметры

• Семейство продуктов: MFC (Mass Flow Controllers) для некоррозионных газов
• Типичные интерфейсы: аналоговый, RS485 Modbus; опции DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat, IO-Link
• Диапазоны расхода: от уровней mLn/min до 1000 mLn/min в зависимости от модели
• Динамический диапазон: до 100:1 (в зависимости от модели)
• Диапазоны давления: например 0.1–0.8 MPa и 0.1–1 MPa (в зависимости от модели)
• Диапазоны компенсации температуры: например 0–50°C и 0–55°C (в зависимости от модели)
• Корпуса: компактные варианты для приборов; экономичные корпуса из алюминиевого сплава
• Типичные области применения: управление процессами, приборы/портативные устройства, осаждение тонких пленок, медицинское оборудование, цифровая подача газа, сварочные газы